PT500實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)是一款專門針對(duì)科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備,利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面,達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧,真空腔容量大,適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境;清洗過(guò)程不會(huì)產(chǎn)生高溫,避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形;可以處理各種各樣的材質(zhì),如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料,應(yīng)用廣泛。
實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù)
1、腔體材質(zhì):不銹鋼
2、供電電源:AC220V
3、射頻電源功率:0-500W 可調(diào)
4、射頻頻率:25KHz
5、真空度:≤100Pa
6、氣體路數(shù):?jiǎn)温?br />
7、氣體流量:0.1-1l/min(可調(diào))
8、清洗時(shí)間:0—999秒連續(xù)可調(diào)
9、內(nèi)腔尺寸:147mm*145mm
10、外形尺寸:452mm*340mm*225mm
11、重量:≈18KG